SENTECH 光谱椭偏仪-SENresearch
SENresearch是一款、研发用宽波段光谱椭偏仪,主要应用是针对研发领域的薄膜、材料分析。
仪器介绍:
SENresearch宽波段光谱椭偏仪系列(光谱范围190 nm –2500 nm),针对、满足现代研究的需求,为任何应用都能够提供出色的测量速度和度。
该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度,折射率,吸收系数,并能够描述材料性质,如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。
SENresearch光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品,如退偏效应,非均匀样品,散射和背板反射。
SENresearch由SpectraRay II软件操作, 完善的软件能够测量数据,建模,拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量的结果报告。
步进扫描分析器工作模式,消色差单色仪,电脑控制起偏器,UV-VIS波段快速二管/CCD阵列探测器和NIR波段干涉仪调制探测器能提供快速测量和高信噪比,并为任何测量在全部psi, delta范围(0-90 deg (psi) and 0 – 360 deg (delta).)都提供较高的测量精度。
SENresearch系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态,修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。
SENTECH的地貌图扫描选项,支持对复杂多层膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性(较小每点5秒)。数据可按照设定的地图图案表现为2D-, 3D-或等高线图,并能够进行统计分析。